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PR AZ4620表面出现雪花点和散射状纹路

发布者: Stadaiy | 发布时间: 2017-2-22 13:14| 查看数: 1482| 评论数: 5|帖子模式

新机子调试,在coater机台上面涂布AZ4620出现表面类似雪花点和放射状纹路,请问各位大佬有没有一些方向性的建议,比如我改动什么参数能改善表面
1:设备商怀疑这种情况是AZ4620的材料特性--》待确认
2:怀疑溶剂蒸发过快--》更改温度和热板条件,表面有轻微改善,还是存在明显条纹和不明显雪花点
3:下一步会更改涂布转速测试
4......

表面雪花点

表面雪花点

表面散射状纹路

表面散射状纹路

最新评论

Stadaiy 发表于 2017-2-22 13:16:13
好像发错版块了?····
david_C6KKk 发表于 2017-6-20 11:12:09
放射纹路在图片中看不太清楚,但是AZ4620胶厚在6.8UM-12um之间,算是厚胶。确实该胶的特性就会不平整,但坚膜后就会整平。
david_C6KKk 发表于 2017-6-20 11:15:16
4620还有一个情况,会开裂。请务必注意烘烤条件。
朱其壮 发表于 2017-7-10 13:21:31
片子太脏了吧;材料特性这是扯淡,正常情况下是不会存在这个问题的,雪花白点应该是结合力差的地方,条纹状应该与coater参数有关。
likanxiaoxiang 发表于 2017-7-21 11:25:24
PR-AZ4620为高粘稠光阻,可以考虑RRC-coating
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