[资料分享] 半导体工艺名词解答

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1662 4 psmdlzjs 发表于 2012-11-19 14:25:30
影响工厂成本的主要因素有哪些?

答:Direct Material 直接材料,例如:蕊片 Indirect Material间接材料,例如气体… Labor人力 Fixed Manufacturing机器折旧,维修,研究费用……等 Production Support其它相关单位所花费的费用

在FAB内,间接物料指哪些?

答:Gas 气体 Chemical 酸,碱化学液 PHOTO Chemical 光阻,显影液 Slurry 研磨液 Target 靶材 Quartz 石英材料 Pad & Disk 研磨垫 Container 晶舟盒(用来放蕊片) Control Wafer 控片 Test Wafe r测试,实验用的蕊片

什幺是变动成本(Variable Cost)?

答:成本随生产量之增减而增减.例如:直接材料,间接材料

什幺是固定成本(Fixed Cost)?

答:此种成本与产量无关,而与每一期间保持一固定数额.例如:设备租金,房屋折旧及檵器折旧

Yield(良率)会影响成本吗?如何影响?

答:Fab yield= 若无报废产生,投入完全等于产出,则成本耗费最小CP Yield:CP Yield 指测试一片芯片上所得到的有效的IC数目。当产出芯片上的有效IC数目越多,即表示用相同制造时间所得到的效益愈大.

生产周期(Cycle Time)对成本(Cost)的影响是什幺?

答:生产周期愈短,则工厂制造成本愈低。正面效益如下: (1) 积存在生产线上的在制品愈少 (2) 生产材料积存愈少 (3) 节省管理成本 (4) 产品交期短,赢得客户信赖,建立公司信誉





FAC

根据工艺需求排气分几个系统?

答:分为一般排气(General)、酸性排气(Scrubbers)、碱性排气(Ammonia)和有机排气(Solvent) 四个系统。

高架 地板分有孔和无孔作用?

答:使循环空气能流通 ,不起尘,保证洁净房内的洁净度; 防静电;便于HOOK-UP。

离子发射系统作用

答:离子发射系统,防止静电

SMIC洁净等级区域划分

答:Mask Shop class 1 & 100Fab1 & Fab2 Photo and process area: Class 100Cu-line Al-Line OS1 L3 OS1 L4 testing Class 1000

什幺是制程工艺真空系统(PV)

答:是提供厂区无尘室生产及测试机台在制造过程中所需的工艺真空;如真空吸笔、光阻液涂布、吸芯片用真空源等。该系统提供一定的真空压力(真空度大于 80 kpa)和流量,每天24小时运行

什幺是MAU(Make Up Air Unit),新风空调机组作用

答:提供洁净室所需之新风,对新风湿度,温度,及洁净度进行控制,维持洁净室正压和湿度要求。

House Vacuum System 作用

答:HV(House Vacuum)系统提供洁净室制程区及回风区清洁吸取微尘粒子之真空源,其真空度较低。使用方法为利用软管连接事先已安装在高架地板下或柱子内的真空吸孔,打开运转电源。此系统之运用可减低清洁时的污染。

Filter Fan Unit System(FFU)作用

答:FFU系统保证洁净室内一定的风速和洁净度,由Fan和Filter(ULPA)组成。

什幺是Clean Room 洁净室系统

答:洁净室系统供应给制程及机台设备所需之洁净度、温度、湿度、正压、气流条件等环境要求。

Clean room spec:标准

答:Temperature 23 °C ± 1°C(Photo:23 °C ± 0.5°C)Humidity 45%± 5%(Photo:45%± 3% )Class 100Overpressure  15paAir velocity 0.4m/s ± 0.08m/s

Fab 内的safety shower的日常维护及使用监督由谁来负责

答:Fab 内的 Area Owner(若出现无水或大量漏水等可请厂务水课(19105)协助)

工程师在正常跑货用纯水做rinse或做机台维护时,要注意不能有酸或有机溶剂(如IPA等)进入纯水回收系统中,这是因为:

答:酸会导致conductivity(导电率)升高,有机溶剂会导致TOC升高。两者均会影响并降低纯水回收率。

若在Fab 内发现地面有水滴或残留水等,应如何处理或通报

答:先检查是否为机台漏水或做PM所致,若为厂务系统则通知厂务中控室(12222)

机台若因做PM或其它异常,而要大量排放废溶剂或废酸等应首先如何通报

答:通知厂务主系统水课的值班(19105)

废水排放管路中酸碱废水/浓硫酸/废溶剂等使用何种材质的管路?

答:酸碱废水/高密度聚乙烯(HDPE)浓硫酸/钢管内衬铁福龙(CS-PTFE)废溶剂/不琇钢管(SUS)

若机台内的drain管有接错或排放成分分类有误,将会导致后端的主系统出现什幺问题?

答:将会导致后端处理的主系统相关指标处理不合格,从而可能导致公司排放口超标排放的事故。

公司做水回收的意义如何?

答:(1) 节约用水,降低成本。重在环保。 (2) 符合ISO可持续发展的精神和公司环境保护暨安全卫生政策。

何种气体归类为特气(Specialty Gas)?

答:SiH2Cl2

何种气体由VMB Stick点供到机台?

答:H2

何种气体有自燃性?

答:SiH4

何种气体具有腐蚀性?

答:ClF3

当机台用到何种气体时,须安装气体侦测器?

答:PH3

名词解释 GC, VMB, VMP

答:GC- Gas Cabinet 气瓶柜VMB- Valve Manifold Box 阀箱,适用于危险性气体。VMP- Valve Manifold Panel 阀件盘面,适用于惰性气体。

标准大气环境中氧气浓度为多少?工作环静氧气浓度低于多少时人体会感觉不适?

答:21%

什幺是气体的 LEL? H2的LEL 为多少?

答:LEL- Low Explosive Level 气体爆炸下限H2 LEL- 4%.

当FAB内气体发生泄漏二级警报(既Leak HiHi),气体警报灯(LAU)会如何动作?FAB内工作人员应如何应变?

答:LAU红、黄灯闪烁、蜂鸣器叫听从ERC广播命令,立刻疏散。

化学供应系统中的化学物质特性为何?

答:(1) Acid/Caustic 酸性/腐蚀性(2) Solvent有机溶剂(3) Slurry研磨液

有机溶剂柜的安用保护装置为何?

答:(1) Gas/Temp. detector;气体/温度侦测器(2) CO2 extinguisher;二氧化碳灭火器

中芯有那几类研磨液(slurry)系统?

答:(1) Oxide (SiO2) (2) Tungsten (W)鵭

设备机台总电源是几伏特?

答:208V OR 380V

欲从事生产/测试/维护时,如无法就近取得电源供给,可以无限制使用延长线吗?

答:不可以

如何选用电器器材?

答:使用电器器材需采用通过认证之正规品牌

机台开关可以任意分/合吗?

答:未经确认不可随意分/合任何机台开关,以免造成生产损失及人员伤害.

欲从事生产/测试/维护时,如无法就近取得电源供给,也不能无限制使用延长线,对吗?

答:对

假设断路器启断容量为16安培导线线径2.5mm2,电源供应电压单相220伏特,若使用单相5000W电器设备会产生何种情况?

答:断路器跳闸

当供电局供电中断时,人员仍可安心待在FAB中吗?

答:当供电局供电中断时,本厂因有紧急发电机设备,配合各相关监视系统,仍然能保持FAB之Safety,所以人员仍可安心待在FAB中.





MFG

什幺是WPH?

答:WPH(wafer per hour) 机台每小时之芯片产出量

如何衡量 WPH ?

答:WPH 值愈大,表示其机台每小时之芯片产出量高,速度快

什幺是 Move?

答:芯片的制程步骤移动数量.

什幺是 Stage Move?

答:一片芯片完成一个Stage之制程,称为一个Stage Move

什幺是Step Move?

答:一片芯片完成一个Step 之制程, 称为一个Step Move.

Stage 和 step 的关系?

答:同一制程目的的step合起来称为一个stage; 例如炉管制程长oxide的stage, 通常要经过清洗,进炉管,出炉管量测厚度3道step

AMHS名词解释?

答:Automation Material Handling System; 生产线大部份的lot是透过此种自动传输系统来运送

SMIF名词解释?

答:Standard Mechanic InterFace (确保芯片在操作过程中; 不会曝露在无尘室的大环境中;所需的界面) 所需使用的器具有FOUP/Loadport/Mini-environment等;

为什幺SMIF可以节省厂务的成本?

答:只需将这些wafer run货过程中会停留的小区域控制在class 1 下即可,而其它大环境洁净度只要维持在class 100 或较低的等级);在此种界面下可简称为"包货包机台不包人";对于维持洁净度的成本是较低的;操作人员穿的无尘衣可以较高透气性为优先考量,舒适性较佳

为什幺SMIF可以提高产品的良率?

答:因为无尘室中的微尘不易进入wafer的制程环境中

Non-SMIF名词解释

答:non-Standard mechanic InterFace;芯片在操作的过程中会裸露在无尘室的大环境中,所以整个无尘室洁净度要维持在class1的等级;所以厂务的成本较高且操作人员的无尘衣要以过滤性为优先考量,因此是较不舒适的

SMIF FOUP名词解释?

答:符合SMIF标准之WAFER container,Front Opening Unit FOUP

MES名词解释?

答:Manfaucture Execution System; 即制造执行系统; 该系统掌握生产有关的信息,简述几项重点如下(1) 每一类产品的生产step内容/规格/限制(2) 生产线上所有机台的可使用状况;如可run那些程序,实时的机台状态(可用/不可用)(3) 每一产品批的基本资料与制造过程中的所有数据(在那些机台上run过/量测结果值/各step的时间点/谁处理过/过程有否工程问题批注…等(4) 每一产品批现在与未来要执行的step等资料

EAP名词解释?

答:(1) Equpiment Automation Program;机台自动化程序;(2) 一旦机台有了EAP,此系统即会依据LOT ID来和MES与机台做沟通反馈及检查, 完成机台进货生产与出货的动作;另外大部份量测机台亦可做到自动收集量测资料与反馈至后端计算机的自动化作业

EAP的好处

答:(1) 减少人为误操作 (2) 改善生产作业的生产力 (3) 改善产品的良率

为什幺EAP可以减少人为操作的错误

答:(1) 避免机台RUN错货 (2) 避免RUN错机台程序

为什幺EAP可以改善机台的生产力?

答:(1) 機台可以自動Download程式不需人為操作 (2) 系統可以自動出入帳,減少人為作帳錯誤 (3) 系統可以自動收集資料減少人為輸入錯誤

为什幺EAP可以改善产品的良率?

答:(1) 在Phot/etch/CMP区中,可自动微调制程参数 (2) 当机台alarm时,可以自动hold 住货 (3) 当lot内片数与MES系统内的片数帐不符合时,可自动hold 住货

GUI名词解释?

答:Graphical User Interface of MES;将MES中各项功能以图形界面的呈现方式使得user可以方便执行

EUI名词解释?功能是什麼?

答:EAP User Interface; 机台自动化程序的使用者界面,透過EUI可以看到機台目前的狀態及貨在機台內的情形

SORTER 分片机的功能?

答:可对晶舟内的wafer(1) 进行读刻号(2) 可将wafer的定位点(notch/flat)调整到晶舟槽位(slot)的指定方位(3) 依wafer号码重新排列在晶舟内相对应的槽位号码上(4) 执行不同晶舟内wafer的合并(5) 将晶舟内的wafer分批至多个晶舟内

OHS名词解释?

答:Over Head Shuttle of AMHS (在AMHS轨道上传送FOUP的小车)

FAB内的主要生产区域有那些?(有7个)

答:黄光, 蚀刻, 离子植入, 化学气象沉积, 金属溅镀, 扩散, 化学机械研磨

Wafer Scrap规定?

答:Wafer由工程部人员判定机台、制程、制造问题,已无法或无必要再进行后续制程时,则于当站予以報廢缴库,Wafer Scrap时请填写“Wafer Scrap处理单”

Wafer经由工程部人员判定机台、制程、制造问题已无法或无必要再进行后续制程时应采取何种措施?

答:SCRAP(报废,定义请参照Wafer Scrap规定)

TERMINATE规定?

答:工程试验产品已完成试验或已无法或无必要再进行后续制程时,则需终止试验产品此时就需将产品终止制程,称之为TERMINATE

WAFER经由客户通知不需再进行后续制程时应采取何种措施?

答:TERMINATE

FAB疏散演练规定一年需执行几次?

答:为确保FAB内所有工作人员了解并熟悉逃生路径及方式,MFG将不定期举行疏散演练。演习次数之要求为每班每半年一次。

何时应该填机台留言单及生产管理留言单?

答:机台留言单:机台有部分异常需暂时停止部分程序待澄清而要通知线上人员时生产留言单:有特殊规定需提醒线上人员注意时

填写完成的机台临时留言单应置放于那里?

答:使用机台临时留言单应将留言单置放于LOGSHEET或粘贴于机台上

机台临时留言单过期后应如何处理?

答:机台临时留言单過期后应由MFG On-line人員清除回收, 讯息若需长期保存则请改用生产管理留言单。

生产管理留言单的有效期限是多久?

答:三个月

何时该填写芯片留言单?

答:芯片有问题时或是芯片有特殊交待事项需让线上人员知道则可使用芯片留言单

芯片留言单的有效期限是多久?

答:三个月

填写完成的芯片留言单应置放于何处?

答:FOUP 上之套子内

芯片留言单需何人签名后才可生效?

答:MFG 的 Line Leader或Supervisor

何谓Hold Lot?

答:芯片需要停下来做实验或产品有问题需工程师判断时的短暂停止则需HOLD LOT;帐点上的状态为Hold,如此除非解決hold住的原因否则无法继续run货

PN(Production Note,制造通报)的目的?

答:(1) 为公布FAB内生产管理的条例。(2) 阐述不清楚和不完善的操作规则。

PN的范围?

答:(1) 强调O.I.或TECN之规定, 未改变(2) 更新制造通报内容(3) 请生产线协助搜集数据(4) O.I.未规定或未限制, 且不改变RECIPE、SPEC及操作程序

何谓MONITOR?

答:对机台进行定期的检测或是随产品出机台时的检测称之为MONITOR,如测微粒子、厚度等

机台的MONITOR项目暂时变更时要填何种文件?

答:Tempory Engineering Change Notice (TECN,暂时工程变更)

暂时性的MONITOR频率增加时可用何种表格发布至线上?

答:Production Note(PN,制造通知)

新机台RELEASE但是OI尚未生效时应填具何种表格发布线上?

答:Tempory Engineering Change Notice (TECN,暂时工程变更)

控片的目的是什幺?(Control wafer)

答:为了解机台未来的run货结果是否在规格内,必须使用控片去试run,并量测所得结果如厚度,平坦度,微粒数…控片使用一次就要进入回收流程。

挡片(Dummy wafer)的目的是什幺?

答:用途有2种:(1) 暖机 (2) 补足机台内应摆芯片而未摆的空位置。挡片可重复使用到限定的时间﹝RUN数、厚度…﹞后,再送去回收.例如可以同时run150片wafer的炉管,若不足150片时必须以挡片补足,否则可能影响制程平坦度等…; High current 机台每次可同时run17片,若不足亦须以挡片补足挡片的

Raw wafer(原物料wafer)有不同的阻值范围吗?

答:是的;阻值范围愈紧的,成本愈贵;例如8~12欧姆用于当产品的原物料,0~100的可能只能用当监控机台微尘的控片

機台狀態的作用?

答:為能清楚地評量機台效率,並告訴線上人員機台當時的狀況

機台狀態可分為那兩大類?

答:(1) UP(2) Down

机台状态定义为availabe可用的状态有那些?

答:RUN : 机台正常,正在使用中BKUP : 机台正常,帮其它厂RUN货IDLE : 机台正常,待料或缺人手TEST : 机台正常,借工程师做工程实验或调整RECIPETEST_CW : 机台正常,正在RUN 控檔片

机台状态定义为SCHEDULE NON-AVAILABLE的有那些?

答:MON_R : 机台正常,依据OI规定进行检查,如每shift/daily/monthlyMON_PM : 机台正常,机台定期维护后的检查PM : OI规定之例行维修时机及项目;如汽车5000KM保养HOLD_ENG : 机台正常,制程工程师澄清与确认产品异常原因,停止机台RUN LOT

在机台当机处理完后;交回制造部时应挂何种STATUS?

答:WAIT_MFG

在工程师借机检查机台调整RECIPE时应挂何种STATUS?

答:TEST

若是机台MONITOR异常工程师借机检查机台时应挂何种STATUS?

答:DOWN

线上发现机台异常时通知工程师时应挂何种STATUS?

答:WAIT_ENG

线上在要将机台交给工程师做PM前等待工程师的时间应挂何种STATUS?

答:WAIT_ENG

工程在将机台修复后交给制造部等制造部处的这段时间应挂何种STATUS?

答:WAIT_MFG

年度维修时应挂何种STATUS?

答:OFF

Muti-Chamber的机台有一个Chamber异常时制造部因为派工ISSUE无法交出Chamber该挂何种STATUS?

答:HOLD_MFG

制程工程师澄清或确认产品异常原因停止机台RUN货时应挂何种STATUS?

答:HOLD_ENG

因工程部ISSUE而成机台不能正常RUN货时应挂何种STATUS?

答:HOLD_ENG

MES或电脑等自动化系统相关问题造成死机要挂何种STATUS?

答:CIM

因为厂务水电气的问题而造成机台死机的问题要挂何种STATUS?

答:FAC

生產線因電力壓降、不穩定造成生產中斷時,機台狀態應掛為?

答:FAC

生產線因MES中斷或EAP連線中斷而造成生產停止,此時機台將態為何?

答:CIM

机台状态EQ status定义的真正用意何在?

答:(1) 机台非常贵重,所以必须知道时间都用到何处了,最好是24小时都用来生产卖钱的产品;能清楚知道时间用到何处,就能进行改善(2) 责任区分,各个状态都有不同的责任单位,如制造部/设备工程师/制程工程师…等

什幺是 T/R?

答:Turn Ratio, 芯片之移动速度; 即1天内移动了几个制程stage

如何衡量 T/R ?

答:一片芯片在1天内完成一个Stage Move,其 T/R值为 1. T/R 值愈大,表示其移动速度愈快,意谓能愈快完成所有制程.

什幺是 EAR ?

答:Engineer Abnormal Report(工程异常报告);通常发生系统性工程问题或大量的报废时,必须issue EAR.异常事件是否issue EAR 主要依据EAR OI 定义

EAR 之目的为何 ?

答:在于记录Wafer生产过程中异常现象的发生与解决对策,及探讨异常事件的真正原因进而建立有效的预防及防止再发措施,以确保生产线之生产品质能持续改善

什幺是 MO ?

答:MO (Mis-Operation)指未依工作准则之作业,而造成的生產損失.

MO 有何之可能影响?

答:(1) 产品制程重做(REWORK)。(2) 产品报废。(3) 客户要求退还产品,并要求赔偿.

如何防止 MO 之产生 ?

答:依工作准则作业.

什幺是 Waferout ?

答:完成所有制程后并可当成产品卖出之芯片.

什幺是 clean room (洁净室)?

答:指空气中浮尘被隔离之操作空间

为何要有 clean room ?

答:避免空气中的微浮尘掉入产品,进而破坏产品的品质

clean room 有何等级 ?

答:class 1, calss 10, class 100, class 1000, class 10000,…等级愈高(class 1) 则表示要求环境之洁净度就愈高.如医院开刀房之环境为 class 1000.

FOUP回收清洗流程?

答:(1) 线上各大区将所使用过的FOUP送回Wafer Start 清洗。(2) 下线MA将回收待清洗的FOUP.底盘逐一拆下。(3) Cassette 须量测有无问题.(全新的也须量测) 。(4) 拆下的Door& 底盘须用IPA擦拭干净。(5) 拆下FOUP 放置Cleaner清洗。

FOUP回收清洗时间?

答:回收清洗时间为每三个月一次. 然而RF ID 在每次清洗完Issue时会同时将下一次清洗的时间Updata上。

FOUP各部门领用流程?

答:各部门的领用人至W/S领取物品时,须填写”FOUP & 塑料封套 领料记录表”填上领取的件数以及部门.名字.工号即可

FAB 制造通报(Production Notice)responsibility?

答:(1) 制造部负责通报的管理与执行,Fab相关部门因工程与生产需要可制作制造通报经单位主管及制造部同意后进线执行。(2) 制造通报涉及工程限制(Constrain)时需由工程部门负责工程师在MES上设定/修改完成后交由制造部审核确认及生效后,此通报才能进线执行。

FAB 制造通报(Production Notice)规定和禁令?

答:(1) 通报被取消则此通报将视为无效.(2) 通报内容新旧版本相冲突时以新版本为主,initiator 需告知前份作废PN ,以便MA立取出(3) 通报最长期限为一个月.如果通报想延长期限,必须重新提出申请与签核,但以一次为限.(4) 至截止期后通报将自动失效.

FAB 制造通报(Production Notice)管理?

答:(1) 如果此通报由制造部主管直接公布,签署过程即省略(2) 通报内容应尽量言简意赅,避免繁琐冗长的陈述 (3) 制造部各区文件管理人负责将取消或无效之生产通告传回Key-in Center 以避免被错误使用(4) 通报应盖上Key-in center 有效公章.

WHAT’S "Bank In"?

答:各部门依据规定执行Hold 货或设Future Hold,并下Bank In之制式Comment后,货到站后由当区MA/LL负责于MES作帐,Wafer存入Stocker。

WHAT’S "Bank Out"?

答:各部门于Hold Comment下Bank Out之制式Comment并通知当区主管,于MFG确认Hold Comment无误后,于MES作帐,Wafer依Comment处理。

WHAT’S ’Bank Period"?

答:每批存入Bank的Lot自Bank In起,至Bank out止,累积之时间

Bank 适用时机?

答:(1) 客户通知暂停流程/放行之Wafer。(2) 新制程开发,于重点层次预留/放行之Wafer。(3) 经WAT检查后,有问题之Wafer。(4) 经QE检查后,有问题之Wafer。(5) FAB预先生产,且需暂存之Wafer。(6) 特殊原因且经MFG P&Q Section Manager同意之Wafer

Bank Quota?limit?

答:(1) 各部门申请的Bank有一定数量限制,依制造部与各部门讨论而定(2) PC部门则由PC与客户协议,依PC相关规定处理

Bank period规定?

答:(1) PC要求之Bank最长可存放六个月;但若Customer有特殊需求,且经PC与MFG P&Q Manager同意者,则不在此限。(2) Lot Type 为L/T/LF/C/D/Z/V者,存放期限为60天。(3) Lot Type 为P/R/M/E1~9/B者,若非PC所要求,则存放期限为7天且申请时需PC 同意。

FAB內空的FOUP應存放在那些指定位置上?

答:(1) 放在指定的暂存货架上。(2) 放在机台旁的待Run Wip货架上(3) Stocker內

为什幺FOUP 放在STOCK 入口而长时间不进去?

答:Stocker 已满,或不能读取RF ID。

为什幺FOUP会被送至WaferStart出口?

答:RF ID上的FOUP Clean Time 过期,或格式不正确。

何谓Bullet lot?

答:(1) 就是优先权最高的lot (priority 1); (2) lot本身带有特别重要的目的;如客户大量投产前的试run产品,工程部特别重要的实验货,与其它重要目的.

Bullet Lot Management Rule?

答:(1) Priority 皆为1(2) 面交下一站,不得用AMHS System传送。(3) 需提前通知下一站备妥机台。(4) 有工程问题工程部必须优先解决此种lot

列出所有的Lot Priority,并说明其代表的含义

答:Priority 等级从1~5 优先权以1最大5最小Priority 1 :bullet lot(字义"子弹般快的lot";此lot拥有特殊目的如重要实验,客户大量投片前试run货等..)priority 2 : hot lot (依MFG/MPC 定义而定;通常为试run货pilot lot, 验证光罩设计的实验lot..等)priority 3 : delay lot(需要加把劲否则无法准时交给客户的lot)priority 4 : normal lot(按预定进度进行的lot)priority 5 : control wafer(生产线上的控片面)

将Lot 分pirority 优先权的生产管理意义?

答:生产线上众多的lot(可能有2000以上),各有不同的交期与目的,透过操控每批LOT的优先权数字设定来让所有MA知道产品安排的优先级

什幺是RF ID?

答:用来记录FOUP ID與MES對應的芯片ID、刻號、机台的EAP亦是透过RF ID 来和MES沟通了解当站该RUN那一种程序



什幺是stocker?

答:生产线上用来存放FOUP容器的仓储(FOUP有装载芯片和光罩两种)





为什幺FOUP 放在stocker 入口而长时间不进去?

答:(1) Stocker已滿(2) 不能讀取RF ID

什幺FOUP 会被自动传输系统HOLD?

答:有同名的Lot.可根据Hold Reason 找出两个同名Lot 的位置。

当GUI显示说Mapping的片数和MES上的片数不匹配时如何处理?

答:请检查MES上LOT的片数和机台内Mapping出来的片数,若两者不同,请找PE/EE解决;若两者相同,请CALL EAP ENGINEER。

Process完成后GUI显示实际RUN的片数和MES上的数量不匹配时如何处理?

答:请检查MES上LOT的片数和机台内Process完成的片数,若两者不同,请找PE/EE解决;若两者相同,请CALL EAP ENGINEER

GUI显示“FOUP due day is expired”或“FOUP clean due day is empty“时如何处理?

答:检查SmartRF ID中清洗FOUP的时间是否已经过期或时间是空值:若已过期,请换一个FOUP。若是空值,请先做IssueRF ID,

何谓Bank Lot?

答:若芯片有客户要求需要长时间的停止时则需使用BANK LOT;即帐点上的状态为BANK;除非客户再次通知后解除,否则无法往下RUN货

何谓future hold?

答:MES 上的一个功能; 对于未来制程中的某一歩骤,若需要停下来执行实验或检查..等目的时,可预先提早下future hold

生产线那些地方,可以感测FOUP上的RF ID并回传此FOUP的位置?

答:Stocker 与机台

HOLD住待处理的问题芯片;必须放在何处?

答:放置在指定之HOLD LOT货架上

工程师使用的芯片、控挡片;必须放在何处?

答:放置在工程师芯片专用货架上

待run产品 ,必须放在何处?

答:放入STOCKER内或放置在机台旁之货架(推车上)

Fab通常如何定义产品的复杂度?

答:必须经过几道photo layer,有几层poly, 有几层metal越多层越复杂

假设一种产品的制程共有20次photo layer,103个stage 的产品,从投片到出货的周期时间(cycle time)为22天;试问此LOT 的平均T/R是多少?

答:103 stage/22天=4.7

假设一种产品的制程共有20次photo layer,103个stage 的产品,从投片到出货的周期时间(cycle time)为22天;试问平均C/T per layer (每一photo layer的cycle time)是多少?

答:22天/20=1.1

Signal Tower 的功能为何?

答:用以提醒操作者,机台的实时状况,实时处理,增加机台的使用率

Signal Tower有那几种灯号颜色?

答:红/黄/绿三种颜色

Signal Tower的红灯亮(ON)起来时,代表何意义?

答:机台的主要功能当掉讯息出现时

Signal Tower的红灯闪烁(flash)时,代表何意义?

答:机台有任何Alarm的讯息出现时

Signal Tower的绿灯亮(ON)起来时,代表何意义?

答:机台是在run货状态;且所有进货端都摆满了货

Signal Tower的绿灯闪烁(flash)时,代表何意义?

答:机台是在run货状态;但有某一个以上的进货端有空档,用以提醒操作人员进货(MIR; move in request)

Signal Tower的黄灯闪烁(flash)时,代表何意义?

答:机台是在可使用状态;但有某一个以上的出货端有货run完,等着出货,用以提醒操作人员把货拿走(MOR; move Out request)

光罩产品有哪两种材料组成?

答:(1) BLANK;玻璃主体;使得光容易透过 (2) PELLICLE;一种高分子材料,用来保护玻璃上的电路图,避免particle影响

简单分类光罩可分为哪两种?

答:Binary光罩(一般光罩) & PSM光罩(相位移光罩); PSM光罩一般用于窄线宽或某几个最重要的PHOTO 层如Poly/Contact/Metal 1 photo layer

现行工厂内有哪两种PELLICLE(光罩的鉻膜)?

答:I-line (365光源用) DUV(248光源用)

I-line pellicle的光罩可否用于DUV的曝光机?

答:不能;因为DUV光源的能量Energy较强,会将pellicle 烧焦

DUV pellicle的光罩可否用于I-line的曝光机?

答:可以

光罩上PATTERN或玻璃面有刮伤可否修补?

答:不能

PELLICLE毁损能否修补?

答:若没伤到pellicle下的电路图形,可撕除pellicle,重新贴上新的PELLICLE

何谓cycle time,周期时间?

答:wafer 从投片wafer start 到WAT电性测试结束这段生產时间(如早上出门.搭车到达公司所需经过的时间)

cycle time 周期时间是由那些时间所构成

答:(1) Process time 所有步骤的制程时间总和 (2) waiting time : 所有步骤中所耗费的等待时间,如等人或等机台有空 (3) hold time:所有步骤因为异常等原因,被扣留下来检查的时间

如何降低cycle time 周期时间?

答:cycle time是process time(机台run货时间),waiting time(等候时间), hold time(等待澄清问题时间);所以任何有助于降低三者的活动皆有帮助

如何减少process time 总和?

答:(1) 由制程整合工程师检讨流程中是否有步骤可以去除不做;如一些检查站点或清洗站点等(2) 由工程部制程工程师研究改善缩短每一步骤的制程时间(需经过实验测试是否影响品质,此项达成度较难)

如何减少waiting time总和?

答:waiting time 是因为少人少机台所造成;所以有下列几种方法(1) 加人买机台(此方法必须说服老板人和机台都已充份利用最大化了)(2) 改善人的能力;如每一MA有多种操作技能,加强派货能力等(3) 改善机台的能力;如增加WPH每小时的产出量,设备工程师将机台维持在高的UP time等(4) 检讨减少生产线上的wafer 数目;检讨是否有太早下线的wafer或不必要的实验货,过多少片数的LOT(例如透过公运输或多人共乘减少)路上的车辆

如何减少hold time 总和?

答:hold time 来自制程不稳定与机台不稳定和实验测试所致;与发生hold time后的后续处理时间;所以必须针对这几项来着手

如何简单地评定一个代工厂的能力?

答:(1) 良率维持在稳定的高点(2) 周期时间cycle tiem愈短愈好(3) 製造成本愈低愈好

工厂准时交货率(On-Time Delivery Order)

答:值越高表示工厂准时交货的能力越好,对于客户的服务也越佳

工厂产量完成率(On-Time Delivery for Volume)

答:衡量工厂满足客户需求的能力是否良好,但并不评估是否按照预定日程交货,值越高越好

控/挡片使用率(Control/Dummy Usage)

答:平均每生产一片芯片所需使用的控/挡片数量由于控/挡片可以重复使用,因此当生产线系统越稳定,技术员操作越熟练,则控/挡片寿命也越长,生产成本也因而降低。

何谓OI?

答:Operation Instruction操作指导手册;每一型号的机台都有一份OI。OI含括制程参数、机台程序、机器简介、操作步骤与注意事项。其中操作步骤与注意事项是我们该熟记的部分

何谓Discipline

答:简单称之为『纪律』。泛指经由训练与思考,对群体的价值观产生认同而自我约束,使群体能在既定的规范内达成目标,与一般的盲从不同。

如何看制造部的纪律好不好?

答:制造部整体纪律的表现,可以由FAB执行6S够不够彻底和操作错误多寡作为衡量标准!

如何看整个FAB纪律好不好?

答:FAB内整体的纪律表现,可以反应在Yield上。

公司的企业文化为何?

答:重操守(integrity)诚实(honesty)团队合作(team work)注重效能(effectiveness)永续经营和不断改进(PDCA——plan/do/check/action)

那些是对外不可说的事?

答:(1) 产品良率(Yield)(2) 订单数量(3) 客户名字(4) 公司组织(5) 主管手机号码(6) 公司人数(7) 其它厂商Vendor的资料(8) 生产线的机台台数及种类。

那些是对外不可做的事?

答:(1) 与Vendor聚餐,需经过部门主管的同意(2) 收佣金,有价证券(3) 收受礼物 (礼物价值>15RMB )(4) 接受招待旅游(5) 出入不正当场所

Fab4的工作精神为何?

答:OwnershipHands OnTeamwork&CooperateCall for helpFollow up;Discipline

何谓Ownership?

答:主人翁精神;对待处理公事如己之私事般完善; 把事情做好而不是把事情做完

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/xin★馮爺★ 发表于 2012-11-20 13:20:26
比较全面
xierong415 发表于 2013-1-30 21:12:43
不错
wx_S7BizBYQ 发表于 2019-10-15 21:43:17
学习学习  
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