ESC dechuck问题

[复制链接]
248 0 海军haijun 发表于 2019-12-31 12:14:45
各位大神,请教一下,ESC放电不充分导致破片的问题,两个chamber都会破,只是频率不一样,一个破片频率高,一个频率低,前一个动作我们加了plasma放电,有所改善,频率降低,但是还是会有破片,ESC是单极ESC, 机台是Centura ultima X,制程是HDP STI, depositon时没有开ESC Voltage, 有RF bias Power, 怎样改善recipe才能解决这个问题呢?这个问题困扰一年多了,不胜感激
发消息 收听TA 回复

使用道具 举报

您需要登录后才可以回帖 登录 | 立即注册

本版积分规则

加入我们,

发现科技可以让生活更美好...

立即注册

如果您已拥有本站账户,则可

推荐阅读

中立 专业 诚实 善良

© 2009-2016 211ic.com

联系邮箱:iccountry@211ic.com

官方客服微信:hr211ic

沪ICP备14040998号-1

社会化关�

新浪微博 | 知乎专栏

微信扫一扫关注我�
小黑屋|手机版|Archiver|广告联系|半导体技术天地| 中国半导体论坛 ( 沪ICP备14040998号-1 )  

沪公网安备 31011702001558号

返回顶部 返回列表