PECVD原理--等离子体增强化学气相沉积技术基础

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2126 12 wgl2003 发表于 2010-8-11 09:02:38
本帖最后由 wgl2003 于 2010-8-11 10:41 编辑

]:) 这是一篇讲等离子体增强化学气相沉积技术基础的文章总结,有感兴趣的可以下下来学习一下。

PECVD原理--等离子体增强化学气相沉积技术基础.pdf

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 楼主| wgl2003 发表于 2010-8-11 10:41:26
终于可以上传附件了
emule_sue 发表于 2010-8-11 11:25:24
支持~~ 给点人气
crazystone 发表于 2010-8-12 12:21:01
支持
backward 发表于 2010-8-12 19:58:10
支持,等我有钱了再下
long0210 发表于 2010-10-6 21:02:30
很好的资料。
xiayvjing 发表于 2010-10-21 09:25:09
顶一个
wangbiyi530 发表于 2011-2-4 16:38:05
多谢谢了
baijidetian 发表于 2010-12-26 18:28:46
看看
wust6354 发表于 2011-6-6 00:29:53
好。
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