APPLIED MATERIALS, Centura EPI PECVD

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5420 24 wkuecb0 发表于 2009-12-31 18:54:43
"the equipment configuration and pictures are not from OEM. It is a used machine from GCEMarket.com inventory".



APPLIED MATERIALS, Centura EPI PECVD



200mm

- software B6.02

- narrow body loadlock chamber

- Widebody dual auto indexer loader

- EPI process chamber; Chamber position A B and C: EPI Chm: PH2, PN2, DCS, HCl

- Chamber Position F: Cooldown Chamber (single wafer).

- HP  robot wafer handling assembly

- remote system AC power box



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yjcboy237 发表于 2010-1-15 01:50:50




楼上兄弟,设备内部的图片有吗,如process chamber,gas panel的?



jordan2 发表于 2010-1-29 08:46:57
My friend told me this machine was very difficult to do PM works, especially with 3 RP chambers.

Is that real?
大湖之子 发表于 2010-2-12 15:43:04
对呀,RP系统比ATM的复杂一些,PM感觉挺危险的,搞不好要爆炸的!
pp1234555 发表于 2010-2-26 22:39:11
兄弟 哪里的呀 国内现在有Centura 的没几家呀
xcpjht 发表于 2010-3-13 05:35:18
liuhu:RP和ATM倒底哪个危险?另外:你知道UP DOME下面的TEFLON白色的O-RING要多少钱一根呀?楼主:三腔的PM简直不是人干的,这就是AM的GOOD DESIGN,晕到!
刘伟 发表于 2010-3-27 12:31:25
AMC的service说RP的危险,我们现在用的是ATM的,还没出现过问题;你说的那根o-ring价钱我不太清楚,还没换过!
CHERY 发表于 2010-4-10 19:27:32
liuhu:有时间可以到你们那儿去参观参观,学习学习吗?
venfen 发表于 2010-4-25 02:23:39
哥们哪个公司的?这个可能有难度哦!
ch123ch 发表于 2010-5-9 09:19:46
我认识你,你可能不认识我.要么我其他关系来参观,到时候来找你 :   
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