[工艺] Epi 资料

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13149 67 ervie4 发表于 2010-5-9 09:19:50
上传一些Epi的在资料与大家分享,希望能够用得着!

硅外延设备及其新进展.pdf

169.89 KB, 下载次数: 93, 下载积分: 金币 -2

硅外延雾缺陷和背面多晶硅对雾缺陷的吸除作用.pdf

274.79 KB, 下载次数: 54, 下载积分: 金币 -2

硅外延用大流量超纯氢气纯化系统的设计技术.pdf

203.3 KB, 下载次数: 32, 下载积分: 金币 -2

增强吸杂硅外延片.pdf

239.36 KB, 下载次数: 35, 下载积分: 金币 -2

多层硅外延生长技术研究.pdf

154.61 KB, 下载次数: 44, 下载积分: 金币 -2

硅外延工艺中硅的本征电阻率.pdf

112.19 KB, 下载次数: 53, 下载积分: 金币 -2

硅外延片中的杂质控制.pdf

227.39 KB, 下载次数: 34, 下载积分: 金币 -2

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不错,学习一下  发表于 2014-3-26 10:26

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mm111222 发表于 2010-5-23 16:15:57
3q,继续downnload

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asfafas  发表于 2019-8-23 16:01
jordan2 发表于 2010-6-6 23:12:04
不错的资料,thanks!

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不错嘛?  发表于 2018-11-26 22:27
plice 发表于 2010-6-21 06:08:11
好東西~~學習了....thanks~
cute_cute 发表于 2010-7-5 13:04:18
谢谢分享!

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你已经下载了嘛?  发表于 2018-11-26 23:30
榕叶 发表于 2010-7-19 20:00:25
  谢谢分享
sanhutrees 发表于 2010-8-3 02:56:32
很不错的内容,谢谢
laysh2010 发表于 2010-8-23 15:02:31
学习学习
wgl2003 发表于 2010-8-24 14:20:50
这么齐全的外延资料
winnerwan 发表于 2010-8-25 12:40:24
      下来看看
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