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jbi3 发表于 2010-3-1 18:04:00
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《微电子制造科学原理与工程技术》（中文版）PDF
系 列 名：国外电子与通信教材系列
著 作 者：S. A. Campbell(美）
原出版社：Oxford University Press.Inc.
出 版 社：电子工业出版社
译 者：曾莹等
ISBN： 7505386263
日 期：2003年1月
页 数：630页
本书系统地介绍了微电子制造科学原理与工程技术覆盖了集成电路制造所涉及的怕有基本单选工艺，包括光刻、等离子体和反应离子刻蚀、离子注入扩散、氧化、蒸发、气相外延生长、溅射和化学气相淀积等对每一种单项工艺，不仅工艺技术加快速热处理、 下一代光刻、分子束外延和金属有机物化学气相淀积等。在此基础上本书讨论了如何将这些单项工艺集成为各种常见的集成电路工艺技术，如CMOS技术、双极型技术和砷化镓技术，还介绍了微电子制造的新领域即微机械电子系统及其工艺技术。
本书可作为高等学校微电子专业本科生和研究生相应课程的教科书或参考书，也可供与集成电路制造工艺技术有关的专业技术人员学习参考。
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